激光干涉儀介紹：
1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
??3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)
??5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
技術(shù)參數(shù)：
??5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
??1. 線性：0.5ppm .
??2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米)
??3. 線性分辨力：0.001um.
??4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
??5. 大范圍：800角秒
??6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
??7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
??8. 直線度*大范圍：500um
??9. 垂直度精度：1角秒
??10. 溫度精度：0.2攝氏度
??11.濕度精度：5%
??12.壓力精度：1mmHg
主要特點(diǎn)：
??1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
??2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
??3. 可選的無(wú)線遙控傳感器*長(zhǎng)的控制距離可到25米
??4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
??5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
??6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
XD Laser被用于：
CMMICNC的校準(zhǔn)、補(bǔ)償
機(jī)床導(dǎo)軌平行度的測(cè)量
旋轉(zhuǎn)軸的測(cè)量
垂直度的測(cè)量
對(duì)角線的測(cè)量
CNC反饋
機(jī)器人位置反饋
