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菲希爾XDL210信息
點擊次數:448 更新時間:2025-07-03 打印本頁面 返回

FISCHERSCOPE X-RAY XDL210菲希爾X射線測厚儀核心技術與性能

測量原理:運用 X 射線熒光光譜法,實現對鍍層厚度的精準測量,采用無損檢測方式,具備自動聚焦功能,可保障樣品完整性與測量準確性。

元素測量范圍:涵蓋 Cl(17)-U(92),最多可同時測量 24 種元素、23 層鍍層。

硬件性能:

 X/Y 平臺:移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm,能滿足多樣品放置與測量需求。

電動 Z 軸:支持手動 / 自動聚焦,移動范圍≥140mm,可適配不同高度樣品。

DCM 技術:采用測量距離補償法(DCM),可實現 80mm 深度的腔體樣品遠距離對焦測量。

高壓調節:可變高壓支持 30KV、40KV、50KV 三檔調節,可靈活應對不同測試場景。

準直器:配備 φ0.3 的圓形準直器,可提升測量精度,還有 φ0.1mm、φ0.2mm 及長方形 0.3mmx0.05mm 等可選準直器。

X 射線探測器:采用比例接收器,確保信號穩定接收。

攝像頭:高分辨率 CCD 攝像頭,放大倍數 40 - 160 倍,便于樣品觀察定位,沿初級 X 射線光束方向觀察測量位置,有手動聚焦、十字線(帶有經過校準的刻度和測量點尺寸)、可調節亮度的 LED 照明,激光光點用于準確定位樣品。

軟件與數據處理

操作系統與軟件:基于 Windows 7 以上中文操作界面,搭載 WinFTM 專業測試軟件,配備連接 PC 和打印機的 USB 接口。

統計計算功能:數據組集成時間和日期功能,具備平均值、標準偏差、最大值、最小值等統計計算;支持公差范圍輸入,可計算 CP 和 Cpk 值,超范圍自動報警提示。

校準與判定:采用基本參數法,內置 12 純元素頻譜庫,實現無標準片校準測量;具備 MQ 值顯示,用于判斷測量程式與樣品匹配度,防止誤操作。

標準片:配備 12 種基準純元素(Ag, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr)標準片。


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